高精度气体混合配比柜
两元或多元需要混合的气体经过阀进入两级或多级压力平衡装置,平衡其输入压差,从而保证了混合前组分气体和稀释气体的压力绝对相同,然后调节流量控制阀,可将各种气体的流量依据希望达到的混气比例进行调定。
本产品原理上采用动态气体混合法,使用美国Veco高精度浓度测量仪进行测量,即混即用,从而保证了混合气体的均匀性,复现性优良,比例稳定。