气体分流箱及分流盘(VMB/VMP)
VMB可以满足多台设备的用气需求。包含1个到N个的支路调压阀处于在处理线路上或者在支路之上。
在处理线路，净化线路或者任何一个支路之上都可以包含一个压力表或者压力传感器。在高腐蚀应用中，VMB可以用几种材料来制造以抗腐蚀。VMB不仅可以用于高洁净应用中，也可以用于较低洁净性的设置。系统可以选择安装上排气传感器，真空发电机以及过流转换并且，设备可以选择包含有膨胀端口或者渗漏检测端口。
